
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of tensile strength of nanoscale thickness membrane.
NORMA vydaná dňa 30.4.2025
Označenie normy: BS IEC 62047-46:2025
Dátum vydania normy: 30.4.2025
Počet strán: 18
Približná hmotnosť: 54 g (0.12 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 539 21850 3 Status: Definitive