
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever.
NORMA vydaná dňa 24.10.2022
Označenie normy: BS IEC 62047-42:2022
Dátum vydania normy: 24.10.2022
Počet strán: 24
Približná hmotnosť: 72 g (0.16 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 539 16581 4 Status: Definitive