
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS.
NORMA vydaná dňa 31.1.2013
Označenie normy: BS EN 62047-9:2011
Dátum vydania normy: 31.1.2013
Počet strán: 30
Približná hmotnosť: 90 g (0.20 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 78793 5 Status: Definitive