
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Description and measurement methods for micro trench and needle structures.
NORMA vydaná dňa 31.5.2016
Označenie normy: BS EN 62047-26:2016
Dátum vydania normy: 31.5.2016
Počet strán: 34
Približná hmotnosť: 102 g (0.22 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 85309 8 Status: Under Review