
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area.
NORMA vydaná dňa 30.11.2016
Označenie normy: BS EN 62047-25:2016
Dátum vydania normy: 30.11.2016
Počet strán: 28
Približná hmotnosť: 84 g (0.19 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 85615 0 Status: Definitive