
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials.<
NORMA vydaná dňa 31.10.2014
Označenie normy: BS EN 62047-21:2014
Dátum vydania normy: 31.10.2014
Počet strán: 18
Približná hmotnosť: 54 g (0.12 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 77554 3 Status: Definitive