
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films.
NORMA vydaná dňa 31.7.2015
Označenie normy: BS EN 62047-17:2015
Dátum vydania normy: 31.7.2015
Počet strán: 34
Približná hmotnosť: 102 g (0.22 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 72203 5 Status: Definitive