
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures.
NORMA vydaná dňa 30.11.2011
Označenie normy: BS EN 62047-12:2011
Dátum vydania normy: 30.11.2011
Počet strán: 34
Približná hmotnosť: 102 g (0.22 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 76301 4 Status: Definitive