
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems.
NORMA vydaná dňa 31.10.2013
Označenie normy: BS EN 62047-11:2013
Dátum vydania normy: 31.10.2013
Počet strán: 24
Približná hmotnosť: 72 g (0.16 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 69448 6 Status: Definitive