Test Method for Detection of Oxidation Induced Defects in Polished Silicon Wafers (Withdrawn 1998)
Označenie normy: ASTM F416-94
Poznámka: NEPLATNÁ
Počet strán: 11
Približná hmotnosť: 33 g (0.07 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)