Standard Specification for High-Purity Titanium Sputtering Target Used for Through-Silicon Vias (TSV) Metallization (Withdrawn 2023)
NORMA vydaná dňa 1.5.2016
Označenie normy: ASTM F3166-16
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.5.2016
Počet strán: 5
Približná hmotnosť: 15 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
high-purity titanium, sputtering target, TSV metallization,, ICS Number Code 25.220.40 (Metallic coatings)