Standard Test Method for Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (EDX) Analysis of Metallic Surface Condition for Gas Distribution System Components
NORMA vydaná dňa 1.7.2012
Označenie normy: ASTM F1375-92(2012)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.7.2012
Počet strán: 4
Približná hmotnosť: 12 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
components, connectors, contamination, EDX, gas distribution components, SEM/EDX, semiconductor processing, surface condition, tubing, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)