Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
NORMA vydaná dňa 10.10.1997
Označenie normy: ASTM E986-97
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.10.1997
Počet strán: 3
Približná hmotnosť: 9 g (0.02 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
edge sharpness, electron beam size, E 766, graphite fiber, magnification, NIST-SRM 2069B, performance, SEM, specimen interaction, waveform, ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices), 37.020 (Optical equipment)