Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
NORMA vydaná dňa 1.4.2010
Označenie normy: ASTM E986-04(2010)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.4.2010
Počet strán: 3
Približná hmotnosť: 9 g (0.02 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
electron beam size, E766, graphite fiber, magnification, NIST-SRM 2069B, resolution, SEM, SEM performance, spot size, waveform, Electron microscopy, Scanning electron microscope (SEM), ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices), 37.020 (Optical equipment)