ASTM F951-96

Standard Test Method for Determination of Radial Interstitial Oxygen Variation in Silicon Wafers

NORMA vydaná dňa 10.1.2002

Anglicky -
PDF - okamžité stiahnutie (70.50 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F951-96
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.1.2002
Počet strán: 5
Približná hmotnosť: 15 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F951-96 :

Keywords:
infrared transmission, interstitial oxygen, oxygen, radial variation, silicon, uniformity, variation, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)