Standard Test Methods for Edge Contour of Circular Semiconductor Wafers and Rigid Disk Substrates (Withdrawn 2003)
NORMA vydaná dňa 10.1.2002
Označenie normy: ASTM F928-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.1.2002
Počet strán: 4
Približná hmotnosť: 12 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
contour, edge contour, gallium arsenide, optical comparator, projection microscope, rigid disk, semiconductor, silicon, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)