Test Method for Measurement of Rotational Acceleration of a Wafer for Photoresist Spin Coating
NORMA vydaná dňa 1.1.1996
Označenie normy: ASTM F907-85E01R92
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.1.1996
Počet strán: 4
Približná hmotnosť: 12 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM