Test Method for Measurement of Rotational Acceleration of a Wafer for Photoresist Spin Coating (Withdrawn 1997)
Označenie normy: ASTM F907-85(1992)
Poznámka: NEPLATNÁ
Približná hmotnosť: 300 g (0.66 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM