Practice for Detection of Defects in Spin-Coated Resist (Withdrawn 1996)
Označenie normy: ASTM F863-84(1992)E01
Poznámka: NEPLATNÁ
Počet strán: 2
Približná hmotnosť: 6 g (0.01 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM