Standard Test Methods for Measuring Crystallographic Orientation of Flats on Single Crystal Silicon Wafers by X-Ray Techniques (Withdrawn 2003)
NORMA vydaná dňa 10.12.2002
Označenie normy: ASTM F847-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.2002
Počet strán: 8
Približná hmotnosť: 24 g (0.05 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
crystallographic orientation, flats, Laue defraction, silicon, single crystal, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)