ASTM F84-02

Standard Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafers With an In-Line Four-Point Probe (Withdrawn 2003)

NORMA vydaná dňa 10.12.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (78.80 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F84-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.2002
Počet strán: 14
Približná hmotnosť: 42 g (0.09 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F84-02 :

Keywords:
four-point probe, four-probe, resistivity, semiconductor, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)