ASTM F81-01

Standard Test Method for Measuring Radial Resistivity Variation on Silicon Wafers (Withdrawn 2003)

NORMA vydaná dňa 10.6.2001

Anglicky -
PDF - okamžité stiahnutie (70.80 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F81-01
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.6.2001
Počet strán: 9
Približná hmotnosť: 27 g (0.06 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F81-01 :

Keywords:
four-point probe, resistivity, resistivity variation, semiconductor, silicon, uniformity, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)