Standard Test Methods for Measuring Resistivity of Semiconductor Slices or Sheet Resistance of Semiconductor Films with a Noncontact Eddy-Current Gage (Withdrawn 2003)
NORMA vydaná dňa 10.12.2002
Označenie normy: ASTM F673-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.2002
Počet strán: 6
Približná hmotnosť: 18 g (0.04 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
contactless measurements, eddy current, nondestructive evaluation, resistivity, semiconductor, sheet, resistance, silicon, thin films, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)