Standard Test Method for Measuring Resistivity Profiles Perpendicular to the Surface of a Silicon Wafer Using a Spreading Resistance Probe (Withdrawn 2003)
NORMA vydaná dňa 10.6.2001
Označenie normy: ASTM F672-01
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.6.2001
Počet strán: 18
Približná hmotnosť: 54 g (0.12 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
carrier density profile, profile, resistivity profile, spreading resistance, spreading resistance probe, spreading resistance profile, SRP, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)