ASTM F576-01

Standard Test Method for Measurement of Insulator Thickness and Refractive Index on Silicon Substrates by Ellipsometry (Withdrawn 2003)

NORMA vydaná dňa 10.6.2001

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (74.70 EUR)

Anglicky -

Tlačené (74.70 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F576-01
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.6.2001
Počet strán: 9
Približná hmotnosť: 27 g (0.06 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F576-01 :

Keywords:
dielectric thickness, ellipsometry, index of refraction, insulator thickness, refractive index, silicon dioxide, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)