ASTM F533-02a

Standard Test Method for Thickness and Thickness Variation of Silicon Wafers (Withdrawn 2003) (Includes all amendments And changes 8/16/2017).

NORMA vydaná dňa 10.12.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (71.20 EUR)

Anglicky -

Tlačené (71.20 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F533-02a
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.2002
Počet strán: 5
Približná hmotnosť: 15 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F533-02a :

Keywords:
semiconductor, silicon, thickness, thickness variation, total thickness variation, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)