ASTM F533-02

Standard Test Method for Thickness and Thickness Variation of Silicon Wafers

NORMA vydaná dňa 10.1.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (62.50 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F533-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.1.2002
Počet strán: 4
Približná hmotnosť: 12 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F533-02 :

Keywords:
semiconductor, silicon, thickness, thickness variation, total thickness variation, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)