Standard Practice for Unaided Visual Inspection of Polished Silicon Wafer Surfaces
NORMA vydaná dňa 10.12.1997
Označenie normy: ASTM F523-93(1997)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.1997
Počet strán: 5
Približná hmotnosť: 15 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
Polished silicon wafers/slices, Visual examination-electronic components/devices, wafers (silicon)-polished, unaided visual inspection, practice,, Silicon semiconductors-slices/wafers, slices (polished)-unaided visual inspection, practice, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)