ASTM F523-02

Standard Practice for Unaided Visual Inspection of Polished Silicon Wafer Surfaces (Withdrawn 2003)

NORMA vydaná dňa 10.12.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (71.10 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F523-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.2002
Počet strán: 5
Približná hmotnosť: 15 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F523-02 :

Keywords:
collimated light, defects, high-intensity light, particle, polished, silicon, visual inspection, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)