ASTM F399-00a

Standard Test Method for Thickness of Heteroepitaxial or Polysilicon Layers (Withdrawn 2002) (Includes all amendments And changes 2/18/2021).

NORMA vydaná dňa 10.12.2000

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (66.30 EUR)

Anglicky -

Tlačené (66.30 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F399-00a
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.2000
Počet strán: 4
Približná hmotnosť: 12 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F399-00a :

Keywords:
epi, epitaxial, layer thickness, poly, polysilicon, profilometer, step height, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)