ASTM F388-84

Method for Measurement of Oxide Thickness on Silicon Wafers and Metallization Thickness by Multiple-Beam Interference (Tolansky Method) (Withdrawn 1993)

Anglicky -
Elektronické PDF (70.80 EUR)

Anglicky -

Tlačené (70.80 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F388-84
Poznámka: NEPLATNÁ
Počet strán: 6
Približná hmotnosť: 18 g (0.04 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F388-84 :

Keywords:
ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)