Standard Guide for Measuring Characteristics of Sapphire Substrates
NORMA vydaná dňa 1.5.2004
Označenie normy: ASTM F2358-04
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.5.2004
Počet strán: 7
Približná hmotnosť: 21 g (0.05 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
backside processing, compound semiconductors, flatness, form, front-to-front deviation (FFD), measurement, restrained, sag, sapphire, sapphire substrates, sori, taper, total thickness variation (TTV), unrestrained, ICS Number Code 25.100.70 (Abrasives)