Standard Practices for Monitoring Non-Contact Dielectric Characterization Systems Through Use of Special Reference Wafers (Withdrawn 2003)
NORMA vydaná dňa 10.1.2002
Označenie normy: ASTM F2166-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.1.2002
Počet strán: 7
Približná hmotnosť: 21 g (0.05 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
dielectric tester, dielectric trap, effective charge, electrical dielectric thickness, flatband voltage, interface trap, line corona, mobile charge, point corona, ICS Number Code 19.080 (Electrical and electronic testing)