Standard Test Method for Measuring Nitrogen Concentration in Silicon Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry (Withdrawn 2003)
NORMA vydaná dňa 10.10.2001
Označenie normy: ASTM F2139-01
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.10.2001
Počet strán: 6
Približná hmotnosť: 18 g (0.04 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
nitrogen concentration, secondary ion mass spectrometry, silicon, SIMS, ICS Number Code 71.040.50 (Physicochemical methods of analysis)