Standard Guide for Analysis and Reporting the Impurity Content and Grade of High Purity Metallic Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications (Includes all amendments And changes 8/16/2017).
NORMA vydaná dňa 10.6.2001
Označenie normy: ASTM F2113-01e1
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.6.2001
Počet strán: 2
Približná hmotnosť: 6 g (0.01 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
electronics, purity analysis, purity grade, sputtering, target, thin film, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)