ASTM F1894-98

Test Method for Quantifying Tungsten Silicide Semiconductor Process Films for Composition and Thickness

NORMA vydaná dňa 10.5.1998

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (71.80 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1894-98
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.5.1998
Počet strán: 7
Približná hmotnosť: 21 g (0.05 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1894-98 :

Keywords:
analysis of tungsten silicide, backscattering analysis, composition, metallization films, quantitative analysis, RBS, Wsix, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)