ASTM F1810-97

Standard Test Method for Counting Preferentially Etched or Decorated Surface Defects in Silicon Wafers

NORMA vydaná dňa 10.6.1997

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (67.00 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1810-97
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.6.1997
Počet strán: 4
Približná hmotnosť: 12 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1810-97 :

Keywords:
defect density, dislocation, grain boundary, microscopic, polycrystalline imperfection, preferential etch, silicon, slip