Standard Guide for Selection and Use of Etching Solutions to Delineate Structural Defects in Silicon (Withdrawn 2003)
NORMA vydaná dňa 10.12.2002
Označenie normy: ASTM F1809-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.2002
Počet strán: 9
Približná hmotnosť: 27 g (0.06 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
defect density, dislocation, grain boundary, microscopic, polycrystalline, imperfection, preferential etch, silicon, slip, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)