Standard Specification for High Purity Titanium Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications
NORMA vydaná dňa 15.6.2008
Označenie normy: ASTM F1709-97(2008)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 15.6.2008
Počet strán: 3
Približná hmotnosť: 9 g (0.02 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
coating, sputtering, target, thin film, titanium, Electronic materials/applications--specifications, Electronic thin-film applications--specifications, High-purity titanium, Sputtering process/targets--specifications, Thin film applications, Titanium sputtering targets, Titanium (Ti)/alloys--specifications, ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices)