Standard Specification for High Purity Titanium Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications
NORMA vydaná dňa 10.12.2002
Označenie normy: ASTM F1709-97(2002)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.2002
Počet strán: 3
Približná hmotnosť: 9 g (0.02 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
coating, sputtering, target, thin film, titanium, ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices)