ASTM F1618-96

Standard Practice for Determination of Uniformity of Thin Films on Silicon Wafers

NORMA vydaná dňa 1.1.1996

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (74.30 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1618-96
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.1.1996
Počet strán: 7
Približná hmotnosť: 21 g (0.05 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1618-96 :

Keywords:
dielectric layers, epitaxial layers, ion implant, metal films, sampling plans, semiconductor, silicon, thin films, uniformity, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)