NORMSERVIS s.r.o.

ASTM F1618-02

Standard Practice for Determination of Uniformity of Thin Films on Silicon Wafers (Withdrawn 2003)

NORMA vydaná dňa 10.5.2002

Anglicky -
PDF - okamžité stiahnutie (71.70 EUR)
Anglicky -
Tlačené (71.70 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1618-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.5.2002
Počet strán: 7
Približná hmotnosť: 21 g (0.05 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1618-02 :

Keywords:
dielectric layers, epitaxial layers, ion implant, metal films, sampling plans, semiconductor, silicon, thin films, uniformity, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)