Standard Guide for Identification of Structures and Contaminants Seen on Specular Silicon Surfaces (Withdrawn 2003)
NORMA vydaná dňa 10.1.2001
Označenie normy: ASTM F154-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.1.2001
Počet strán: 13
Približná hmotnosť: 39 g (0.09 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
contaminant, defects, dislocation, epitaxial, fracture, preferential etch, scratch, shallow pit, silicon, slip, stacking fault, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)