ASTM F1530-02

Standard Test Method for Measuring Flatness, Thickness, and Thickness Variation on Silicon Wafers by Automated Noncontact Scanning (Withdrawn 2003)

NORMA vydaná dňa 10.12.2002

Anglicky -
PDF - okamžité stiahnutie (77.90 EUR)

Anglicky -

Tlačené (77.90 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1530-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.2002
Počet strán: 12
Približná hmotnosť: 36 g (0.08 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1530-02 :

Keywords:
flatness, noncontact measurement, semiconductor, silicon, thickness, thickness variation, wafers, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)