ASTM F1529-02

Standard Test Method for Sheet Resistance Uniformity Evaluation by In-Line Four-Point Probe with the Dual-Configuration Procedure

NORMA vydaná dňa 10.12.2002

Anglicky -
PDF - okamžité stiahnutie (77.90 EUR)

Anglicky -

Tlačené (77.90 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1529-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.2002
Počet strán: 13
Približná hmotnosť: 39 g (0.09 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1529-02 :

Keywords:
epitaxy, four-point probe, ion implant, metallization, polysilicon, sheet resistance, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)