ASTM F1528-94(1999)

Standard Test Method for Measuring Boron Contamination in Heavily Doped N-Type Silicon Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry (Withdrawn 2003)

NORMA vydaná dňa 10.12.1999

Anglicky -
PDF - okamžité stiahnutie (62.50 EUR)

Anglicky -

Tlačené (62.50 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1528-94(1999)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.1999
Počet strán: 4
Približná hmotnosť: 12 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1528-94(1999) :

Keywords:
boron, epitaxial substrate, silicon, SIMS, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)