Standard Test Method for Measuring Surface Metal Contamination on Silicon Wafers by Total Reflection X-Ray Fluorescence Spectroscopy (Withdrawn 2003)
NORMA vydaná dňa 1.1.2000
Označenie normy: ASTM F1526-95(2000)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.1.2000
Počet strán: 7
Približná hmotnosť: 21 g (0.05 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
contamination, metals, silicone, surface, TXRF, X-ray fluorescence, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)