ASTM F1513-99(2003)

Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications

NORMA vydaná dňa 10.12.1999

Anglicky -
PDF - okamžité stiahnutie (62.50 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1513-99(2003)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.1999
Počet strán: 2
Približná hmotnosť: 6 g (0.01 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1513-99(2003) :

Keywords:
aluminum, coating, evaporation, sputtering, targets, thin films, vacuum coating, ICS Number Code 31.200 (Integrated circuits. Microelectronics)