Standard Test Method for Measuring Sori on Silicon Wafers by Automated Noncontact Scanning (Withdrawn 2003)
NORMA vydaná dňa 1.1.1999
Označenie normy: ASTM F1451-92(1999)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.1.1999
Počet strán: 12
Približná hmotnosť: 36 g (0.08 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
noncontact measurement, semiconductor, shape, silicon, sori, wafers, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)