Standard Test Method for Determining Net Carrier Density in Silicon Wafers by Miller Feedback Profiler Measurements With a Mercury Probe (Withdrawn 2003)
NORMA vydaná dňa 10.12.2002
Označenie normy: ASTM F1393-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.2002
Počet strán: 8
Približná hmotnosť: 24 g (0.05 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
depth profile, epitaxial wafers, mercury probe, miller feedback method, net carrier density, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)